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科威勒氮氣質量流量計 氣體微型傳感器：該系列產品典型測量精度為 ±1.5%，量程比達到 500:1，此系列產品的量程從 10SCCM 到 200SLM 內可 選（其它量程可咨詢定制），并配有液晶顯示 、數字輸出，方便用戶現場和遠程調試。該產品成本低、易安裝、不需要額外溫度和壓力補償。